氣氛爐采用硅碳棒作為加熱元件，采用雙層外殼結(jié)構(gòu)和程序溫度控制系統(tǒng)，移相觸發(fā)?？煽毓杩刂疲瑺t采用氧化鋁多晶纖維材料，雙層外殼 配備風(fēng)冷系統(tǒng)，可快速升降，外殼整體密封。蓋板密封采用硅膠泥漿。爐門采用硅膠墊，通過(guò)水冷系統(tǒng)。氣體通過(guò)流量計(jì)從后室進(jìn)出，有許多清洗 爐進(jìn)氣口。出口有一個(gè)燃燒器，可以通過(guò)蒸汽、氬氣、氮?dú)狻⒀鯕?、一氧化碳、氨分解氣體和其他氣體 。